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薄膜曲率应力测量仪

德国OEG公司研发生产的FLATSCAN扫描仪,采用光学非接触式测量方法对样品,如: 硅晶圆和玻璃衬底, 进行弓/翘曲、斜率和表面曲度3D/2D测量。
此外,仪器自带的测量软件可计算出样品的膜层应力。

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商品描述

德国OEG公司研发生产的FLATSCAN扫描仪,采用光学非接触式测量方法对样品,如: 硅晶圆和玻璃衬底, 进行弓/翘曲、斜率和表面曲度3D/2D测量。
此外,仪器自带的测量软件可计算出样品的膜层应力。


v厂家简介

德国OEG公司成立于1991年,设计制造光学测量和半导体测量仪器,产品属于高精密仪器,设计紧凑操作简单,超高性价比。深受广大科研用户的认可。

产品包括:

Ø 金刚石切片机

Ø 晶圆平整度测量、曲率、应力测量

Ø  光学测量平台

Ø 电子准直镜

Ø 线宽、特征尺寸测量仪

Ø 接触角、表面张力、表面自由能测量仪

Ø MTF测量仪

v晶圆平整度曲率应力测量仪—Flatscan光学

光学非接触表面测量仪,能进行大范围2D/3D测量,可测量晶圆应力(薄膜应力),表面半径曲率和斜坡。 

FLATSCAN适用于任意种类反射表面的平整度、波纹度和弯曲(弓/翘曲)表面轮廓的非接触式自动2D3D测量,并通过软件计算其薄膜应力如硅晶圆、镜面、X射线反射镜(多层膜反射镜/Goebel镜)、金属表面、抛光的聚合物等等。

v测量原理

表面轮廓

垂直于样品表面的入射光,经过表面反射后形成的反射角,会因表面轮廓的不同而产生变化。FLATSCAN正是依据测量点之间反射角的变化,通过软件重新计算并构建了样品表面轮廓,实现了全自动高精度的测量。

薄膜应力

对于薄膜、单层或者多层镀膜的应力,软件主要依据Fowkes的理论,通过检测镀膜前后,基板曲率半径的变化量计算得到。比如在半导体行业或者其他应用领域,当反射表面被加工处理后(镀膜或者去镀膜),操作人员能够利用FLATSCAN快速地对晶圆薄膜应力进行检测。

v应用

FLATSCAN适用于任意种类反射表面的,平整度、波纹度和弯曲(弓/翘曲)的非接触式测量,如硅晶圆、镜面、X射线反射镜(多层膜反射镜/Goebel镜)、金属表面、抛光的聚合物等。

v产品特性

 Ø 高测量精度

 Ø 非接触式测量

 Ø 3D/2D可选

 Ø 近似任意大小的可测量面积

 Ø 可以检测更高的弯曲度

 Ø 适用于较大面积样品的测量。

 Ø 适用于高弯曲表面,如X射线反射镜(多层膜反射镜)、硅晶圆等。

v产品参数

 1。 光学扫描系统

1。1非接触式激光光源测量。

1.2具有自动测量晶圆的曲率,轮廓和薄膜应力功能。

1。3具有3D/2D可选的应力测量模式

1.4光学系统可测量标准直径200mm300mm的晶圆及需求的更大的视野。

1。5轮廓测量重复精度100nm

1.6扫描速度为10mm/s-30mm/s。

1。7光学系统曲率分辨率0.1arcsec,精度1arcsec

2. 样品台

2。1样品台具有XY,Phi轴自动位移功能,并可以在软件系统中控制和调节

2.2具有自动调平功能

3. 数据采集和记录系统

具有方便易用的软件系统,具有方便易用的软件系统,具有友好的用户界面;

软件系统可以采集并记录镀膜前后的表面轮廓和曲率数据,并可以根据镀膜前后;

数据计算薄膜材料的应力分布和翘曲度;

软件可以读出镀膜前后的晶圆曲率半径,显示三维形貌。


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