产品详情
 
当前位置
产品详情
等离子去胶清洗机

 

 美国Plasma Etch 公司等离子去胶清洗机

  

             Affordable Benchtop Plasma System

美国 plasma Etch公司的等离子去胶清洗机是目前市场上价格最具优势的产品。该产品设计紧凑、功能强大,适用于高校、研究所及工厂研发的使用,是一款不二的选择。

 

该仪器工艺腔室采用铝材料,铝材料比传统的玻璃和石英材料更安全可靠,因为玻璃和石英会在等离子启动时产生刻蚀效应,带来安全隐患并且会损失射频功率。腔室设计成矩形结构,该结构可放置各种规格形状的样品,适用性广。

腔室的尺寸根据刻蚀晶片的大小有不同的设计。

 

型号1: PE50 用于4英寸及以下的晶圆

型号2:PE-50XL-HF 用于6英寸及以下的晶圆

型号3:PE100 用于8英寸及以下的晶圆

型号4:PE200 用于12英寸及以下的晶圆

 

射频功率:100W~300W

气路:2个

控制方式:PLC

 

Plasma Etch PE-50XL-HF System Specifications

Standard System Features

Vacuum Chamber, Aluminum, Rectangle

7。5” X 7.5” X 3.5”

Electrode Configuration

Single 7” x 7” horizontal

R.F. Generator & Matching Network

100 Watt, 13。56 MHz Continuously Variable RF Power Supply with Automatic RF Matching Network

2 Gas channels

 Needle Valve Flow Control

2 Rotometers, 2 Gas Controls, 0-25 cc/min with precision needle valves。

Vacuum Gauge

Thermocouple Vacuum Gauge, 0-1 Torr.

Vacuum Pump, Oxygen Service

5 CFM 2-Stage Direct Drive Oil Vacuum Pump, Oxygen Service (Fomblin or Krytox Charged).

Process Sequence

PLC Microprocessor Control System.  Storage of 1 process recipe for automatic process sequencing.

System Electrical & Mechanical

Electrical

220VAC, 50Hz, 15A.

System Weight (Plasma Console/Vacuum Pump)

Shipping weight; 55 lbs for console, 35 lbs for external vacuum pump.

Footprint

14 “ X 19.5” X 21.25”

Shipping Weight

95lbs for consle and RF power,

35lbs for vacuum pump

 

脚注信息
版权所有 Copyright(C)2009-2019 北京特博万德科技乐盈彩票注册 电话:010-58612715 邮箱:sales@beeprox.com
诚立荣鼎信誉天下 诚立荣鼎信誉天下 乐盈彩票平台 诚立荣鼎信誉天下 乐盈彩票 乐盈彩票网 乐盈彩票平台 亚洲彩票网 六合在线 六合在线